Laser activation of Ultra Shallow Junctions (USJ) doped by Plasma Immersion Ion Implantation

Autor: Vervisch, V., Larmande, Yannick, Delaporte, Philippe, Sarnet, Thierry, Sentis, Marc, Etienne, H., Torregrosa, F., Cristiano, Fuccio, Fazzini, Pier-Francesco
Přispěvatelé: Sarnet, Thierry, Laboratoire Lasers, Plasmas et Procédés photoniques (LP3), Aix Marseille Université (AMU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), IBS, ibs company, Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Aix Marseille Université (AMU)
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2009
Předmět:
Zdroj: Applied Surface Science
Applied Surface Science, 2009, 255 (10), pp.5647-5650
Applied Surface Science, Elsevier, 2009, 255 (10), pp.5647-5650
ISSN: 0169-4332
Popis: International audience
Databáze: OpenAIRE
Externí odkaz: