Caractérisation microondes de la permittivité du SiOCH poreux pour la génération CMOS 32 nm
| Autor: | Blampey, B., Gallitre, M., Farcy, A., Lacrevaz, T., De Rivaz, S., Bermond, C., Fléchet, B., Jousseaume, V., Zenasni, A., Ancey, P. |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Laboratoire d'Etudes Aérodynamiques (LEA), Université de Poitiers-ENSMA-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Domenget, Chahla |
| Jazyk: | francouzština |
| Rok vydání: | 2009 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | 16èmes Journées Nationales Microondes 16èmes Journées Nationales Microondes, May 2009, Grenoble, France Caractérisation microondes de la permittivité du SiOCH poreux pour la génération CMOS 32 nm Caractérisation microondes de la permittivité du SiOCH poreux pour la génération CMOS 32 nm, May 2009, Grenoble, France |
| Popis: | International audience |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|