CAD of LGS resonant cantilevers : Analytical models and simulations

Autor:	Tellier, Colette, Leblois, T., Durand, Stéphane
Přispěvatelé:	Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire d'Acoustique de l'Université du Mans (LAUM), Le Mans Université (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2010
Předmět:	[SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Zdroj:	European Physical Journal: Applied Physics European Physical Journal: Applied Physics, EDP Sciences, 2010, 50 (2), article 20303 (sur le site WEB de l'éditeur), 13 p
ISSN:	1286-0042 1286-0050
Popis:	International audience
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::537c9dd3a7b335fed056fc141c06c0f8 https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00481477 Zobrazit plný text záznamu