Moisture influence on reliability and electrical characteristics of sioc:h low-k dielectric material
| Autor: | Vidal-Dho., M, Hubert., Q, Gonon., P, Pelissier., B, Ogier., J-L., Moragues, J-M |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Clot, Marielle, STMicroelectronics [Rousset] (ST-ROUSSET), Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2019 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | 2019 IEEE International Integrated Reliability Workshop Final Report 2019 IEEE International Integrated Reliability Workshop Final Report, 2019, 8989905 |
| Popis: | International audience |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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