The NEPTUNE Bipolar Source: A New Instrument for Surface Treatment Applications
| Autor: | Rafalskyi, D.V., Aanesland, Ane |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Laboratoire de Physique des Plasmas (LPP), Université Paris-Saclay-Sorbonne Université (SU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-École polytechnique (X)-Observatoire de Paris, Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2014 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | The AVS 61th International Symposium and Exhibition (AVS 61) The AVS 61th International Symposium and Exhibition (AVS 61), Nov 2014, Baltimore, Maryland, USA, Unknown Region. pp.191 |
| Popis: | International audience |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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