Towards CNC Automation in AFM Probe-Based Nano Machining
| Autor: | Brousseau, Emmanuel, Arnal, Benoît, Thiery, Stéphane, Nyiri, Eric, Gibaru, Olivier, Mayor, Rhett |
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| Přispěvatelé: | Cardiff School of Engineering, Cardiff University, Arts et Métiers ParisTech, HESAM Université (HESAM), Non-Asymptotic estimation for online systems (NON-A), Centre de Recherche en Informatique, Signal et Automatique de Lille - UMR 9189 (CRIStAL), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Inria Lille - Nord Europe, Institut National de Recherche en Informatique et en Automatique (Inria)-Institut National de Recherche en Informatique et en Automatique (Inria), Laboratoire des Sciences de l'Information et des Systèmes : Ingénierie Numérique des Systèmes Mécaniques (LSIS- INSM), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National des Sciences de l'Informatique et ses Interactions-Université de Provence - Aix-Marseille 1-Université Paul Cézanne - Aix-Marseille 3-Université de la Méditerranée - Aix-Marseille 2, Georgia Institute of Technology [Atlanta], HESAM Université - Communauté d'universités et d'établissements Hautes écoles Sorbonne Arts et métiers université (HESAM), Inria Lille - Nord Europe, Institut National de Recherche en Informatique et en Automatique (Inria)-Institut National de Recherche en Informatique et en Automatique (Inria)-Centre de Recherche en Informatique, Signal et Automatique de Lille - UMR 9189 (CRIStAL), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de la Méditerranée - Aix-Marseille 2-Université Paul Cézanne - Aix-Marseille 3-Université de Provence - Aix-Marseille 1-Institut National des Sciences de l'Informatique et ses Interactions-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2013 |
| Předmět: |
Automation
Micro et nanotechnologies/Microélectronique [Sciences de l'ingénieur] Analyse numérique [Mathématique] Ingénierie assistée par ordinateur [Informatique] AFM probe-based machining [INFO.INFO-IA]Computer Science [cs]/Computer Aided Engineering [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics CAD/CAM [MATH.MATH-NA]Mathematics [math]/Numerical Analysis [math.NA] Nanomanufacturing |
| Zdroj: | 8th International Conference on MicroManufacturing (ICOMM 2013) 8th International Conference on MicroManufacturing (ICOMM 2013), Mar 2013, Canada. pp.499-506 |
| Popis: | International audience; This paper presents a feasibility study, which aims to demonstrate the applicability of the CNC automation philosophy for the process of AFM probe-based nano machining conducted on commercial AFM instruments. In particular, it is proposed to machine in this way nanostructures generated with any CAD software via the representation of tip path trajectories with G-code instructions. Such a representation can then be interpreted with a post processor at the interface of an AFM instrument. To demonstrate the validity of the proposed approach, it was implemented on a complex pattern. The results obtained open further research perspectives with respect to minimizing the sources of machining errors observed. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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