Multi-opening orifice - A tool for primary metrology of vacuum and small gas throughputs

Autor:	Jeřáb, M., Tomáš Gronych, Peksa, L., Staněk, F., Krajíček, Z., Pražák, D., Vičar, M., Tesař, J.
Zdroj:	Scopus-Elsevier
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::4383b1dee0cdad6788001ac76373e777 http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-84880424570&partnerID=MN8TOARS Zobrazit plný text záznamu