Photopatterning of metal oxides nanostructures by DUV lithography
Autor: | Dirani, Ali, Ridaoui, Hassan, Wieder, Fernand, Soppera, Olivier |
---|---|
Přispěvatelé: | Turck, Colette, Photomatériaux pour l'Optique et les Nanotechnologies (PHOTON LRC 7228), Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA)) |
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2010 |
Předmět: | |
Zdroj: | Nano SEA 2010 Nano SEA 2010, Jun 2010, CASSIS, France |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |