Photopatterning of metal oxides nanostructures by DUV lithography

Autor: Dirani, Ali, Ridaoui, Hassan, Wieder, Fernand, Soppera, Olivier
Přispěvatelé: Turck, Colette, Photomatériaux pour l'Optique et les Nanotechnologies (PHOTON LRC 7228), Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA))
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2010
Předmět:
Zdroj: Nano SEA 2010
Nano SEA 2010, Jun 2010, CASSIS, France
Databáze: OpenAIRE