VALIDATION OF BENDING TEST BY NANOINDENTATION FOR MICRO-CONTACT ANALYSIS OF RF-MEMS SWITCHES

Autor: Broué, Adrien, Fourcade, Thibaut, Dhennin, Jérémie, Courtade, Frédéric, Dieppedale, Christel, Pons, Patrick, Lafontan, Xavier, Plana, Robert
Přispěvatelé: NOVAMEMS, NOVAMENS, Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT), NovaMEMS, Incubateur Midi-Pyrénées-Oseo-Région Midi-Pyrénées-ANRT-Ministère de l'industrie-THALES Security Systems-EPSILON, Centre National d'Études Spatiales [Toulouse] (CNES), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Équipe MIcro et Nanosystèmes pour les Communications sans fil (LAAS-MINC), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), INTESENS (INTESENS), INTESENS, Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées, Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1)
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2009
Předmět:
Zdroj: Proceeding of Micromechanics Europe Conference 2009
Micromechanics Europe Conference 2009
Micromechanics Europe Conference 2009, Sep 2009, Toulouse, France. 4 p
Popis: International audience; This paper demonstrates the validity of a new methodology using a commercial nanoindenter coupled with electrical measurement on test vehicles specially designed to investigate the micro-scale contact physics. Dedicated validation tests and modelling are performed to assess the introduced methodology by analysing the response of gold contact with 5 µm² square bumps under various levels of current flowing through contact asperities. Contact temperature rising is measured leading to shifts of the mechanical properties of contact material and modifications of the contact topology. In addition, the data provide a better understanding of micro-contact behaviour related to the impact of current at low- to medium-power levels.
Databáze: OpenAIRE
Externí odkaz: