Miniature RF MEMS switched Capacitors using Nanogaps to achieve 50ns switching Speed Capabilities

Autor:	Pothier, Arnaud, Verger, Aurélie, Guines, Cyril, Crunteanu, Aurelian, Blondy, Pierre, Orlianges, Jean-Christophe, Dhennin, Jérémy, Broué, Adrien, Courtade, Frédéric, Vendier, Olivier
Přispěvatelé:	MINACOM, XLIM (XLIM), Université de Limoges (UNILIM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Limoges (UNILIM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Axe 2 : procédés de traitements de surface, Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS), Université de Limoges (UNILIM)-Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle (ENSCI)-Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (IPAM), Université de Limoges (UNILIM)-Université de Limoges (UNILIM)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Limoges (UNILIM)-Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle (ENSCI)-Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (IPAM), Université de Limoges (UNILIM)-Université de Limoges (UNILIM)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Fialab, Centre National d'Études Spatiales [Toulouse] (CNES), Thales Alenia Space (TAS), THALES, Pothier, Arnaud
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2010
Předmět:	[SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Zdroj:	ESA Round Table on Micro and Nano Technology ESA Round Table on Micro and Nano Technology, Sep 2010, Noordwijk, Netherlands
Popis:	International audience
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::3dccba4ed48c8d8c1ae8eebf3051207b https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00933632 Zobrazit plný text záznamu