Fabrication and characterization of Si3N4-MIS structures on p-type diamond
| Autor: | Fontaine, Lya, Isoird, Karine, Tasselli, Josiane, Scheid, Emmanuel, Austin, Patrick, Cazarre, Alain, Issaoui, Riadh |
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| Přispěvatelé: | Équipe Intégration de Systèmes de Gestion de l'Énergie (LAAS-ISGE), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées, Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique (LAAS-MPN), Équipe Instrumentation embarquée et systèmes de surveillance intelligents (LAAS-S4M), Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux (LSPM), Université Paris 13 (UP13)-Institut Galilée-Université Sorbonne Paris Cité (USPC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT), TASSELLI, JOSIANE |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2021 |
| Předmět: |
MIS structure
[SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics [SPI.NRJ]Engineering Sciences [physics]/Electric power Si3N4 MOS power devices [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics [SPI.TRON] Engineering Sciences [physics]/Electronics ComputingMilieux_MISCELLANEOUS [SPI.NRJ] Engineering Sciences [physics]/Electric power [SPI.TRON]Engineering Sciences [physics]/Electronics |
| Zdroj: | 31st International Conference on Diamond and Carbon Materials 31st International Conference on Diamond and Carbon Materials, Sep 2021, On line, Spain |
| Popis: | International audience |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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