Dissection of the Planar Magnetron Discharge

Autor:	Buyle, G., Depla, D., Karin Eufinger, Haemers, J., Grysa, R., Bosscher, W.
Předmět:	Science General
Zdroj:	Scopus-Elsevier Technical Conference Proceedings 1991-2003 Society of Vacuum Coaters
ISSN:	1099-4718
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::3783fc72cfb2bf30242029a8291c6dff http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0242384959&partnerID=MN8TOARS Zobrazit plný text záznamu