Lift-off technique using different e-beam writers

Autor:	Jana Chlumská, Kolařík, V., Krátký, S., Matějka, M., Urbánek, M., Horácek, M.
Zdroj:	Scopus-Elsevier
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::36e5d78e65e57d49c16f865abdf73365 http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-84929448101&partnerID=MN8TOARS Zobrazit plný text záznamu