Fabrication and Electrical Characterization of Si and Si/SiGe Nanowires Tunnel Field-Effect-Transistor
| Autor: | Virginie Brouzet, Bassem Salem, Periwal, P., Guillaume Rosaz, Thierry Baron, Franck Bassani, Gentile, P., gerard ghibaudo |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Ducroquet, Frédérique, Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures (SiNaps), PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS (PHELIQS), Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2015 |
| Předmět: |
[SPI]Engineering Sciences [physics]
[SPI.OPTI] Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic [SPI] Engineering Sciences [physics] [SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics [SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic ComputingMethodologies_GENERAL [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics [SPI.MAT] Engineering Sciences [physics]/Materials ComputingMilieux_MISCELLANEOUS [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials |
| Zdroj: | HAL 4èmes Journées Nationales sur les Technologies Emergentes en Micro-Nanofabrication (JNTE 2015) 4èmes Journées Nationales sur les Technologies Emergentes en Micro-Nanofabrication (JNTE 2015), Nov 2015, Ecully, France |
| Popis: | session poster: M11; National audience |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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