High-precision deformation mapping in finFET transistors with two nanometre spatial resolution by precession electron diffraction
| Autor: | Cooper, David, Bernier, Nicolas, Rouviere, Jean-Luc, Rouvière, Jean-Luc, Wang, Yun-Yu, Weng, Weihao, Madan, Anita, Mochizuki, Shogo, Jagannathan, Hemanth |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Laboratoire d'Etude des Matériaux par Microscopie Avancée (LEMMA ), Modélisation et Exploration des Matériaux (MEM), Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), IBM [Yorktown] (IBM), IBM, Rouviere, Jean-Luc, Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2017 |
| Předmět: |
[SPI.OPTI] Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic
[PHYS.COND.CM-GEN] Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Other [cond-mat.other] [SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics [PHYS.COND.CM-GEN]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Other [cond-mat.other] [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci] [SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic [SPI.MAT] Engineering Sciences [physics]/Materials [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics [PHYS.COND.CM-MS] Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci] ComputingMilieux_MISCELLANEOUS [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials |
| Zdroj: | Applied Physics Letters Applied Physics Letters, 2017, 110 (22), pp.223109 Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2017, 110 (22), pp.223109 |
| ISSN: | 0003-6951 |
| Popis: | International audience |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|