Parametric study of methane dissociation and deposition rates in a Ar/CH4 RF plasma
| Autor: | von Wahl, Erik, Ellien, Ianis, Lecas, Thomas, Mikikian, Maxime |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés (GREMI), Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), ANR-18-CE30-0016,MONA,De la MOlécule à la NAnoparticule : Couplage expériences/modèles pour révéler la physico-chimie complexe des plasmas hydrocarbonés(2018) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2021 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Journées 2021 du GDR EMILI Journées 2021 du GDR EMILI, Oct 2021, Palaiseau, France |
| Popis: | National audience |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|