Characterization of WO3 layers deposited on quartz and lithium niobate SAW resonators for the design of gas sensors

Autor: David, M., Arab, Madjid, Gavarri, J., Rabus, D., Daniau, W., Baron, T., Friedt, J., Delmas, L., Ballandras, S.
Přispěvatelé: Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence (IM2NP), Université de Toulon (UTLN)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Aix Marseille Université (AMU), Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Aix Marseille Université (AMU)-Université de Toulon (UTLN)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2011
Předmět:
Zdroj: 2011 Joint conference of the IEEE International Frequency Control and the European Frequency and Time Forum (FCS)
2011 Joint conference of the IEEE International Frequency Control and the European Frequency and Time Forum (FCS), May 2011, San Francisco, United States. ⟨10.1109/FCS.2011.5977824⟩
DOI: 10.1109/FCS.2011.5977824⟩
Popis: International audience; Surface acoustic wave (SAW) gas sensors generally require the use of a reactive layer for molecule adsorption. WO 3 has been identified for a long time as a high potential sensitive layer particularly for NH 3 , NO X , CO, etc. We report here on the characterization of elastic properties of such material using the dispersion behavior of SAW propagating under gratings passivated wich WO 3 films of various thicknesses. Quartz as well as LiNbO 3 SAW devices are used in that purpose, allowing for the derivation of a reliable data set. Complementary structural characterization using direct measurement techniques (DRX, AFM, TEM,) are reported to confirm the analysis deduced from SAW measurements. As a conclusion, the exploitation of WO 3 for SAW-based sensor is discussed.
Databáze: OpenAIRE
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