Influence du traitement thermique sur les propriétés des résistances de platine d’un microcapteur de flux thermique
| Autor: | Youssef Mokadem, Sylvie Bégot, François Lanzetta, Virginie Moutarlier, jean-yves Rauch |
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| Přispěvatelé: | Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Univers, Transport, Interfaces, Nanostructures, Atmosphère et environnement, Molécules (UMR 6213) (UTINAM), Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut national des sciences de l'Univers (INSU - CNRS), Femto-st, AS2M |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2019 |
| Předmět: |
[SPI.ACOU]Engineering Sciences [physics]/Acoustics [physics.class-ph]
[SPI.ACOU] Engineering Sciences [physics]/Acoustics [physics.class-ph] [PHYS.MECA.THER] Physics [physics]/Mechanics [physics]/Thermics [physics.class-ph] [SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics [INFO.INFO-DS]Computer Science [cs]/Data Structures and Algorithms [cs.DS] [SPI.NRJ]Engineering Sciences [physics]/Electric power [INFO.INFO-DS] Computer Science [cs]/Data Structures and Algorithms [cs.DS] [SPI.MAT] Engineering Sciences [physics]/Materials [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials [SPI.AUTO]Engineering Sciences [physics]/Automatic [SPI.AUTO] Engineering Sciences [physics]/Automatic [PHYS.MECA.THER]Physics [physics]/Mechanics [physics]/Thermics [physics.class-ph] [PHYS.MECA.MEFL] Physics [physics]/Mechanics [physics]/Fluid mechanics [physics.class-ph] [PHYS.MECA.MEFL]Physics [physics]/Mechanics [physics]/Fluid mechanics [physics.class-ph] [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics [SPI.NRJ] Engineering Sciences [physics]/Electric power |
| Zdroj: | Congrès Français de Thermique Congrès Français de Thermique, Jun 2019, Nantes, France HAL |
| Popis: | International audience; Résumé - Cette étude se situe dans le cadre du développement de fluxmètres thermiques en microtechnologie. Ces fluxmètres consistent en deux résistances de platine déposées sur un substrat en verre. Dans une première partie, nous présentons le principe du fluxmètre et de la mesure de température. Dans une deuxième partie, nous présentons également les étapes de fabrication en salle blanche et les différentes températures de recuits étudiées. Nous présentons des résultats expérimentaux sur la variation de résistance observée selon les différentes températures de recuit et une analyse par Diffraction de Rayons X complétée par des images au microscope à balayage. Nous proposons comme hypothèse que la baisse de résistivité observée pour les faibles températures de recuit est due à l’amélioration du réseau cristallin et que la hausse observée pour les températures les plus élevées est due à la diffusion de la couche d’accroche en chrome dans le platine. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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