Sol-Gel Based Direct Photolitography : Principle and Applications
Autor: | Riassetto, David, Bonnel, Morgane, Langlet, Michel |
---|---|
Přispěvatelé: | Laboratoire des matériaux et du génie physique (LMGP ), Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Riassetto, David |
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2019 |
Předmět: | |
Zdroj: | International Congress on Advanced Materials sciences and Engeering International Congress on Advanced Materials sciences and Engeering, Jul 2019, Osaka, Japan |
Popis: | International audience |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |