Procédé et dispositif pour déplacer un élément à entraîner utilisant un élément actionneur formé par gravure dans un matériau semi - conducteur (actionneur monomodule)

Autor: Minotti, Patrice, Bourbon, Gilles, Le Moal, Patrice, Joseph, Eric
Přispěvatelé: Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Jazyk: francouzština
Rok vydání: 2006
Předmět:
Zdroj: France, N° de brevet: 0502699. 2006
Databáze: OpenAIRE