On a new sacrificial layer process of free-standing piezoelectric thick films for MEMS applications

Autor:	Lucat, Claude, Ginet, Patrick, Von Der Mühll, Regnault, Castille, Christophe, Ménil, Francis, Maglione, Mario
Přispěvatelé:	Laboratoire de l'intégration, du matériau au système (IMS), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1, Institut de Chimie de la Matière Condensée de Bordeaux (ICMCB), Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Université de Bordeaux (UB)
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2007
Předmět:	[SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Zdroj:	International Symposium on Integrated Ferroelectrics 2007 International Symposium on Integrated Ferroelectrics 2007, May 2007, Bordeaux, France
Popis:	International audience
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::105537cb500dbd0677b720375f656293 https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00164609 Zobrazit plný text záznamu