REALISATION DUN COMPOSANT ELECTROMECANIQUE POUR UN MICRO- OU NANO- SYSTEME DOTE DUN BARREAU FORMANT UN AXE DE ROTATION DU COMPOSANT ET RECOUVERT DE GRAPHENE

Autor: Poiroux, Thierry, Thomas, Ernst, Andreucci, Philippe, Gabriel, Jean Christophe
Přispěvatelé: Gabriel, Jean-Christophe, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2011
Předmět:
Zdroj: France, Patent n° : 2950332 2011
Popis: Procédé de réalisation d'un micro-système électromécanique doté d'au moins un organe fixe comprenant un barreau, et d'au moins un organe mobile en rotation autour d'au moins une portion dudit barreau, le procédé comprenant des étapes de : a) formation dans une couche d'au moins matériau donné reposant sur un support, d'au moins un barreau, b) formation autour du barreau d'au moins un premier feuillet de graphène, et d'au moins un deuxième feuillet de graphène, séparé du premier feuillet et mobile par rapport au premier feuillet.
Databáze: OpenAIRE