Prozesstaugliche Plasmadiagnostik auf Basis der Multipol-Resonanz-Sonde

Autor:	Oberrath, Jens, Christian Schulz, Storch, Robert, Styrnoll, Tim, Lapke, Martin, Thomas Mussenbrock, Awakowicz, Peter, Brinkmann, Ralf Peter, Musch, Thomas, Ilona Rolfes
Zdroj:	Ruhr-Universität Bochum
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::09a0ea7fa9bd5cd3f269204716342b79 http://www.ama-science.org/proceedings/details/786 Zobrazit plný text záznamu