The influence of back thinning technique of the InSb (100) FPA on its geometric characteristics and crystal structure,Способ утонения обратной стороны матричного модуля InSb (100) и его влияние на кристаллическую структуру приповерхностных слоев

Autor:	Mirofyanchenko, E. V., Mirofyanchenko, A. E., Popov, V. S.
Zdroj:	Scopus-Elsevier
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::0940580272172aeaa61e0621ee015f96 http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-85100022426&partnerID=MN8TOARS Zobrazit plný text záznamu