Etude de Comportement Dynamique des Micropoutres MEMS : Simulation par FEM Sous COMSOL et ANSYS Multiphysiques

Autor:	Bourouina, Hicham, Belgroune, Nadir, Hassein-Bey, Abdelkader, Khales, Hammouche, Yahiaoui, Reda, Sahar, Abdellah
Přispěvatelé:	Faculté des Sciences [Blida], Université de Saâd Dahlab [Blida] (USDB ), Centre de Développement des Technologies Avancées (CDTA), Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Jazyk:	francouzština
Rok vydání:	2013
Předmět:	[SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
Zdroj:	Etude de Comportement Dynamique des Micropoutres MEMS : Simulation par FEM Sous COMSOL et ANSYS Multiphysiques Etude de Comportement Dynamique des Micropoutres MEMS : Simulation par FEM Sous COMSOL et ANSYS Multiphysiques, Jan 2013, France
Popis:	National audience; Etude de Comportement Dynamique des Micropoutres MEMS : Simulation par FEM Sous COMSOL et ANSYS Multiphysiques
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::050752ced2056e859a49ae09b82b28da https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00968141 Zobrazit plný text záznamu