Méthodologie et résultats de caractérisation large bande d'une couche diélectrique enfouie dans un empilement de circuits intégrés 3D

Autor:	Bermond, C., Lacrevaz, T., El Bouayadi, O., Artillan, Philippe, Houzet, G., Lamy, Y., Fléchet, B.
Přispěvatelé:	Michelin, Isabelle, Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Jazyk:	francouzština
Rok vydání:	2014
Předmět:	[SPI.ELEC]Engineering Sciences [physics]/Electromagnetism [SPI.ELEC] Engineering Sciences [physics]/Electromagnetism ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Zdroj:	13èmes Journées de Caractérisation Microondes et Matériaux, JCMM2014 13èmes Journées de Caractérisation Microondes et Matériaux, JCMM2014, Mar 2014, Nantes, France. pp.1-4
Popis:	International audience
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::020b2c855d7ad41d262b804b51f3a889 https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01021517 Zobrazit plný text záznamu