Mechanical property mapping of ALD thin films

Autor: Puurunen, Riikka L., Ali, Saima, Arstila, Kai, Berdova, Maria, Haimi, Eero, Heikkinen, Hannele, Julin, Jaakko, Kilpi, Lauri, Laitinen, Mikko, Liu, Xuwen, Lyytinen, Jussi, Malm, Jari, Pyymaki-Perros, Alexander, Rontu, Ville, Sintonen, Sakari, Ylivaara, Oili, Sajavaara, Timo, Lipsanen, Harri, Franssila, Sami, Koskinen, Jari, Ronkainen, Helena, Hannula, Simo-Pekka, Kiihamäki, Jyrki
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2015
Zdroj: Puurunen, R L, Ali, S, Arstila, K, Berdova, M, Haimi, E, Heikkinen, H, Julin, J, Kilpi, L, Laitinen, M, Liu, X, Lyytinen, J, Malm, J, Pyymaki-Perros, A, Rontu, V, Sintonen, S, Ylivaara, O, Sajavaara, T, Lipsanen, H, Franssila, S, Koskinen, J, Ronkainen, H, Hannula, S-P & Kiihamäki, J 2015, Mechanical property mapping of ALD thin films . in Technical Program & Abstracts . American Vacuum Society (AVS), 13th International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition, Baltic ALD 2015, Tartu, Estonia, 28/09/15 .
Databáze: OpenAIRE
Externí odkaz: