On the early history of atomic layer deposition:most significant works and applications
| Autor: | Aarik, Jaan, Ahvenniemi, Esko, Akbashev, Andrew R., Ali, Saima, Bechelany, Mikhael, Berdova, Maria, Cameron, David, Chekurov, Nikolai, Chubarov, Mikhail, Drozd, Viktor, Elliott, Simon, Gottardi, Gloria, Grigoras, Kestutis, Hwang, Cheol Seong, Junige, Marcel, Kallio, Tanja, Kanervo, Jaana, Khmelnitskiy, Ivan, Koshtyal, Yury, Krause, Outi, Kääriäinen, Marja-Leena, Kääriäinen, Tommi, Lamagna, Luca, Lipsanen, Harri, Lyytinen, Jussi, Malkov, Anatoly, Malygin, Anatoly, Molarius, Jyrki, Norek, Malgorzata, Ozgit-Akgun, Cagla, Panov, Mikhail, Pedersen, Henrik, Piallat, Fabien, Popov, Georgi, Puurunen, Riikka L., Pyymaki-Perros, Alexander, Ras, Robin H. A., Roozeboom, Fred, Sajavaara, Timo, Savin, Hele, Seidel, Thomas E., Sundberg, Pia, Sundqvist, Jonas, Suyatin, Dmitry, Tallarida, Massimo, Törndahl, Tobias, Utriainen, Mikko, van Ommen, J. Ruud, Wächtler, Thomas, Wiemer, Claudia, Ylivaara, Oili M. E., Yurkevich, Oksana |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2016 |
| Zdroj: | Aarik, J, Ahvenniemi, E, Akbashev, A R, Ali, S, Bechelany, M, Berdova, M, Cameron, D, Chekurov, N, Chubarov, M, Drozd, V, Elliott, S, Gottardi, G, Grigoras, K, Hwang, C S, Junige, M, Kallio, T, Kanervo, J, Khmelnitskiy, I, Koshtyal, Y, Krause, O, Kääriäinen, M-L, Kääriäinen, T, Lamagna, L, Lipsanen, H, Lyytinen, J, Malkov, A, Malygin, A, Molarius, J, Norek, M, Ozgit-Akgun, C, Panov, M, Pedersen, H, Piallat, F, Popov, G, Puurunen, R L, Pyymaki-Perros, A, Ras, R H A, Roozeboom, F, Sajavaara, T, Savin, H, Seidel, T E, Sundberg, P, Sundqvist, J, Suyatin, D, Tallarida, M, Törndahl, T, Utriainen, M, van Ommen, J R, Wächtler, T, Wiemer, C, Ylivaara, O M E & Yurkevich, O 2016, ' On the early history of atomic layer deposition : most significant works and applications ', 16th International Conference on Atomic Layer Deposition, ALD 2016, Dublin, Ireland, 24/07/16-27/07/16 . |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|