Röntgenographische Realstrukturuntersuchungen an dünnen gesputterten TiNSchichten
Autor: | Puff, M., Stemmler, D., Neidhardt, A., Reinhold, U., Wuttke, W. |
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Zdroj: | Journal of Heat Treatment and Materials: HTM; September 1990, Vol. 45 Issue: 5 p279-284, 6p |
Databáze: | Supplemental Index |
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