Röntgenographische Realstrukturuntersuchungen an dünnen gesputterten TiNSchichten

Autor: Puff, M., Stemmler, D., Neidhardt, A., Reinhold, U., Wuttke, W.
Zdroj: Journal of Heat Treatment and Materials: HTM; September 1990, Vol. 45 Issue: 5 p279-284, 6p
Databáze: Supplemental Index