Étude de texture hétérogène d'une couche mince par diffraction X

Autor: El Ghazouli, K., Heizmann, J.J, Laruelle, C., Bolle, B., El Ghazouli, K., Heizmann, J.J, Laruelle, C., Bolle, B.
Zdroj: Journal de Physique IV - Proceedings; June 1998, Vol. 8 Issue: 1 pPr5-193-Pr5-199, 1935195p
Abstrakt: une méthode adoptant des stratégies de mesures différentes qui combine soit les techniques de Schulz et de faible incidence, soit des mesures goniométriques à profondeur constante de pénétration des rayons X, est décrite pour déterminer les gradients de texture dans les couches minces. Cette méthode est testée sur des échantillons possédant un gradient artificiel connu de texture ; les résultats d'analyse quantitative de la texture par la méthode vectorielle sont présentés.
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