High-actuator-count MEMS deformable mirrors

Autor: George, Thomas, Islam, M. Saif, Dutta, Achyut K., Helmbrecht, Michael A., He, Min, Kempf, Carl J.
Zdroj: Proceedings of SPIE; May 2013, Vol. 8725 Issue: 1 p87250V-87250V-7, 785258p
Databáze: Supplemental Index