High-actuator-count MEMS deformable mirrors
Autor: | George, Thomas, Islam, M. Saif, Dutta, Achyut K., Helmbrecht, Michael A., He, Min, Kempf, Carl J. |
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Zdroj: | Proceedings of SPIE; May 2013, Vol. 8725 Issue: 1 p87250V-87250V-7, 785258p |
Databáze: | Supplemental Index |
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