| Autor: |
Vu-Hoang, S., Parry, G., Verdier, M. |
| Zdroj: |
Matériaux & Techniques; January 2011, Vol. 99 Issue: 2 p261-270, 10p |
| Abstrakt: |
La géométrie des matériaux sous forme de couches minces est à la base de la technologie des dispositifs de petite taille. La caractérisation mécanique de ces couches est déterminante pour leur intégration industrielle. L’indentation instrumentée est une méthode de mesure bien adaptée aux petites échelles. Dans cette étude, nous nous intéressons à l’effet au premier ordre de la géométrie du film sur l’essai d’indentation. Pour cela, nous décrivons le comportement du film à l’aide des lois de plasticité cristalline utilisant les densités de dislocations comme variable interne (sans écrouissage cinématique ni introduction de gradient de déformation). Cette stratégie de modélisation a donné de très bons accords quantitatifs avec l’expérience dans le cas de monocristaux massifs de Cu. Elle est ici utilisée pour explorer uniquement l’effet géométrique dû à l’épaisseur finie du film plastique déposé sur un substrat élastique. Les critères de comparaison entre le cas massif et la géométrie planaire sont d’une part les courbes de force et de rigidité en fonction de la profondeur d’indentation et d’autre part les champs de déplacement en surface : ces données sont facilement accessibles expérimentalement (Microscopie à Force Atomique) et numériquement. Les simulations numériques sont confrontées à des données expérimentales obtenues sur des films de Cu sur Si et des monocristaux de Cu. |
| Databáze: |
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