AES and XPS characterization of SiN x layers.
| Autor: | Pavlyák, F., Bertóti, I., Mohai, M., Biczó, I., Giber, J. |
|---|---|
| Zdroj: | Surface & Interface Analysis: SIA; 1993, Vol. 20 Issue 3, p221-227, 7p |
| Databáze: | Complementary Index |
| Externí odkaz: |
|
| Autor: | Pavlyák, F., Bertóti, I., Mohai, M., Biczó, I., Giber, J. |
|---|---|
| Zdroj: | Surface & Interface Analysis: SIA; 1993, Vol. 20 Issue 3, p221-227, 7p |
| Databáze: | Complementary Index |
| Externí odkaz: |
|
Plný text