Autor:	Aumann, C. E., Skofronick, G. L., Martin, J. A.
Zdroj:	Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1995, Vol. 13 Issue 3, p1178-1183, 6p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu