Autor:	Silfvast, W. T., Richardson, M. C., Bender, H., Hanzo, A., Yanovsky, V., Jin, F., Thorpe, J.
Zdroj:	Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1992, Vol. 10 Issue 6, p3126-3133, 8p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu