Autor:	Gottscho, Richard A., Jurgensen, C. W., Vitkavage, D. J.
Zdroj:	Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1992, Vol. 10 Issue 5, p2133-2147, 15p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu