Autor:	Shirahata, Naoto, Hozumi, Atsushi, Asakura, Shuuichi, Fuwa, Akio, Sakka, Yoshio
Zdroj:	Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 2005, Vol. 23 Issue 4, p731-736, 6p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu