Autor:	Ikeda, Nobukazu, Shirai, Yasuyuki, Ohmi, Tadahiro, Yamaji, Michio
Zdroj:	Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1998, Vol. 16 Issue 1, p181-187, 7p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu