Autor:	Gardner, W. L., Baddorf, A. P., Holber, W. M.
Zdroj:	Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1997, Vol. 15 Issue 3, p1409-1412, 4p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu