Autor:	Keller, John H., Forster, John C., Barnes, Michael S.
Zdroj:	Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1993, Vol. 11 Issue 5, p2487-2491, 5p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu