Controllable leaks using electrically pulsed valves.

Autor:	Dobson, J. L., Kendall, B. R. F.
Zdroj:	Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1990, Vol. 8 Issue 3, p2790-2794, 5p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu