Autor:	Chang, S. A., Skolnik, M. B., Altman, C.
Zdroj:	Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1986, Vol. 4 Issue 3, p413-416, 4p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu