Autor:	Hordon, L. S., Pease, R. F. W.
Zdroj:	Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1990, Vol. 8 Issue 6, p1686-1690, 5p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu