Autor:	Tamargo, M. C., de Miguel, J. L., Hwang, D. M., Farrell, H. H.
Zdroj:	Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1988, Vol. 6 Issue 2, p784-787, 4p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu