Autor:	Williams, M. D., Chin, K. K., McCants, C. E., Mahowald, P. H., Spicer, W. E.
Zdroj:	Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1986, Vol. 4 Issue 4, p939-942, 4p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu