Autor:	Thompson, W., Honjo, I., Utlaut, Mark, Enge, H.
Zdroj:	Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1983, Vol. 1 Issue 4, p1125-1128, 4p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu