Autor:	Charbonnier, F. M., Southall, L. A., Mackie, W. A.
Zdroj:	Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 2004, Vol. 22 Issue 4, p1643-1652, 10p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu