Shallow silicide contact.
Autor: | Tu, K. N., Hammer, W. N., Olowolafe, J. O. |
---|---|
Zdroj: | Journal of Applied Physics; Mar1980, Vol. 51 Issue 3, p1663-1668, 6p |
Databáze: | Complementary Index |
Externí odkaz: |
Autor: | Tu, K. N., Hammer, W. N., Olowolafe, J. O. |
---|---|
Zdroj: | Journal of Applied Physics; Mar1980, Vol. 51 Issue 3, p1663-1668, 6p |
Databáze: | Complementary Index |
Externí odkaz: |