Characteristics of thin titanium layers on silicon deposited by ionized cluster beams.

Autor:	Huq, S. E., Raman, V. K., McMahon, R. A., Ahmed, H.
Zdroj:	AIP Conference Proceedings; Sep1988, Vol. 167 Issue 1, p291-298, 8p
Databáze:	Complementary Index
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu