Multiply scanned electron beam annealing of Si implanted GaAs.
Autor: | Bujatti, M., Cetronio, A., Nipoti, R., Olzi, E. |
---|---|
Zdroj: | Applied Physics Letters; 1982, Vol. 40 Issue 4, p334-336, 3p |
Databáze: | Complementary Index |
Externí odkaz: |
Autor: | Bujatti, M., Cetronio, A., Nipoti, R., Olzi, E. |
---|---|
Zdroj: | Applied Physics Letters; 1982, Vol. 40 Issue 4, p334-336, 3p |
Databáze: | Complementary Index |
Externí odkaz: |